지식재산권 상세
목록물 공급유량을 일정하게 유지가능한 반도체 제조장비용 정전분무 스크러버
작성자
관리자
조회수
24
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | 중소기업 협력 체계 운영 및 기술지원 협력사업 운영 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 지식재산권명 | 물 공급유량을 일정하게 유지가능한 반도체 제조장비용 정전분무 스크러버 | ||||
| 성과고유번호 | PTO-2021-00212142336 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 1020210135862 | 출원/등록일자 | 2021-10-13 | 출원/등록기관 | 한국에너지기술연구원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 50.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 03시 06분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 42분 | ||
지식재산권 원문