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절연성능이 개선된 반도체 제조장비용 정전분무 스크러버

작성자

관리자

조회수

28

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 국내 저급연료 사업장의 미세먼지 저감을 위한 Pre-to-Post 핵심 융복합 기술 개발 - 저급탄 미세먼지 저감을 위한 연료 전처리 기술
지식재산권명 절연성능이 개선된 반도체 제조장비용 정전분무 스크러버
성과고유번호 PTO-2021-00212142337 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210155842 출원/등록일자 2021-11-12 출원/등록기관 한국에너지기술연구원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 100.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 07분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 42분