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목록전기장 이온풍을 이용한 배관 오염 방지장치 및 전기장 이온풍을 이용한 배관 오염 방지방법
작성자
관리자
조회수
51
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | 반도체·디스플레이산업 핵심공정용 플라즈마 장비 기반 원천 기술 개발 | ||||
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| 지식재산권명 | 전기장 이온풍을 이용한 배관 오염 방지장치 및 전기장 이온풍을 이용한 배관 오염 방지방법 | ||||
| 성과고유번호 | PTO-2021-00212114572 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 1020210150754 | 출원/등록일자 | 2021-11-04 | 출원/등록기관 | 한국기계연구원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 100.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 03시 07분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 42분 | ||
지식재산권 원문