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회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템

작성자

관리자

조회수

42

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 고분해능 자외선 렌즈모듈 원천기술 개발
지식재산권명 회전프리즘과 빔확장부를 이용한 광학표면의 형상오차 측정시스템
성과고유번호 PTR-2021-00212091767 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210072404 출원/등록일자 2021-06-03 출원/등록기관 한국표준과학연구원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 50.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 08분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 42분