지식재산권 상세
목록원자층 증착법에 의한 산화막 제조 방법 및 이에 의한 반도체 소자 및 페로브스카이트 태양 전지
작성자
관리자
조회수
28
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | 전구체 흡착 제어를 통한 원자단위 박막 조성 제어 기술 | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| 지식재산권명 | 원자층 증착법에 의한 산화막 제조 방법 및 이에 의한 반도체 소자 및 페로브스카이트 태양 전지 | ||||
| 성과고유번호 | PTO-2021-00212145494 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 1020210170325 | 출원/등록일자 | 2021-12-01 | 출원/등록기관 | 충남대학교산학협력단 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 100.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 03시 08분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 42분 | ||
지식재산권 원문