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절연막으로 사용되는 하프니아 유전체 및 그 제조 방법

작성자

관리자

조회수

28

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 고성능 (Endurance 10^12, Retention 85℃/10^5초, 스위칭 시간 15ns 이내) 하프늄옥사이드 강유전체 트랜지스터 메모리 소자 기술개발 및 이론연구
지식재산권명 절연막으로 사용되는 하프니아 유전체 및 그 제조 방법
성과고유번호 app_2021_0000008052 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210048981 출원/등록일자 2021-04-15 출원/등록기관 한국과학기술원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 50.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 10분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 42분