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곡률을 가지는 박막의 형성 방법 및 이를 통해 제조된 전자 소자

작성자

관리자

조회수

35

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 초미세 전자소자의 발열 분석을 위한 고해상도 열반사 현미경 시스템 개발
지식재산권명 곡률을 가지는 박막의 형성 방법 및 이를 통해 제조된 전자 소자
성과고유번호 PTO-2021-00212216721 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 PCT/KR2021/008408 출원/등록일자 2021-07-02 출원/등록기관 재단법인대구경북과학기술원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 25.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 14분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 44분