금속 칼코제나이드 매직 사이즈 클러스터를 활용한 EUV/BEUV 용 포토레지스트
지식재산권 상세정보
| 과제 |
금속-무기물 하이브리드 재료 기반 EUV 포토 레지스트 개발 |
| 지식재산권명 |
금속 칼코제나이드 매직 사이즈 클러스터를 활용한 EUV/BEUV 용 포토레지스트 |
| 성과고유번호 |
app_2021_0000028115 |
성과발생연도 |
2021 |
국내외구분 |
국내 |
| 출원/등록번호 |
1020210166117 |
출원/등록일자 |
2021-11-26 |
출원/등록기관 |
한국과학기술원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 |
|
특허유형 |
특허 |
출원/등록구분 |
출원 |
| 기여율 |
100.0 % |
공개여부 |
공개 |
| 증빙자료 |
|
| 최초등록 |
관리자,
2024-04-11 PM 03시 14분
|
최종수정 |
관리자,
2024-10-24 PM 01시 44분
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지식재산권 상세정보
| 과제 |
금속-무기물 하이브리드 재료 기반 EUV 포토 레지스트 개발 |
| 지식재산권명 |
금속 칼코제나이드 매직 사이즈 클러스터를 활용한 EUV/BEUV 용 포토레지스트 |
| 성과고유번호 |
app_2021_0000028115 |
| 성과발생연도 |
2021 |
| 국내외구분 |
국내 |
| 출원/등록번호 |
1020210166117 |
| 출원/등록일자 |
2021-11-26 |
| 출원/등록기관 |
한국과학기술원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 |
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| 특허유형 |
특허 |
| 출원/등록구분 |
출원 |
| 기여율 |
100.0 % |
| 공개여부 |
공개 |
| 증빙자료 |
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| 최초등록 |
관리자,
2024-04-11 PM 03시 14분
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| 최종수정 |
관리자,
2024-10-24 PM 01시 44분
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