지식재산권 상세
목록전자기 차폐부를 구비한 글러브박스
작성자
관리자
조회수
38
등록일
2024-04-11
지식재산권 상세정보
| 과제 | EUV용 흡수/투과 소재의 기계적/열적/화학적 물성 평가 시스템 구축 | ||||
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| 지식재산권명 | 전자기 차폐부를 구비한 글러브박스 | ||||
| 성과고유번호 | PTR-2021-00212097618 | 성과발생연도 | 2021 | 국내외구분 | 국내 |
| 출원/등록번호 | 1020210077938 | 출원/등록일자 | 2021-06-16 | 출원/등록기관 | 한국표준과학연구원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 | 특허유형 | 특허 | 출원/등록구분 | 출원 | |
| 기여율 | 50.0 % | 공개여부 | 공개 | ||
| 증빙자료 | |||||
| 최초등록 | 관리자, 2024-04-11 PM 03시 15분 | 최종수정 | 관리자, 2024-10-24 PM 01시 44분 | ||
지식재산권 원문