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반응성 이온 식각장치 시료 홀더용 지그 및 그를 이용한 나노입자 제조방법

작성자

관리자

조회수

23

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 첨단소재 측정플랫폼 기반 구축
지식재산권명 반응성 이온 식각장치 시료 홀더용 지그 및 그를 이용한 나노입자 제조방법
성과고유번호 PTO-2021-00212220060 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210007940 출원/등록일자 2021-01-20 출원/등록기관 한국표준과학연구원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 50.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 16분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 44분