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압입 리소그래피를 이용한 나노패터닝 수소센서 제조방법

작성자

관리자

조회수

22

등록일

2024-04-11

지식재산권 상세정보
과제 국가측정표준 정책·협력연구
지식재산권명 압입 리소그래피를 이용한 나노패터닝 수소센서 제조방법
성과고유번호 PTO-2021-00212220018 성과발생연도 2021 국내외구분 국내
출원/등록번호 1020210174076 출원/등록일자 2021-12-07 출원/등록기관 한국표준과학연구원
출원/등록기관 사업자등록번호 특허유형 특허 출원/등록구분 출원
기여율 100.0 % 공개여부 공개
증빙자료
최초등록 관리자, 2024-04-11 PM 03시 16분 최종수정 관리자, 2024-10-24 PM 01시 44분