수직으로 정렬된 탄소나노튜브를 이용한 고정-연마재 패드 및 제작 방법
지식재산권 상세정보
| 과제 |
반영구적으로 사용가능한 일체형의 화학적기계연마 패드 개발 |
| 지식재산권명 |
수직으로 정렬된 탄소나노튜브를 이용한 고정-연마재 패드 및 제작 방법 |
| 성과고유번호 |
PTR-2021-00212097192 |
성과발생연도 |
2021 |
국내외구분 |
국내 |
| 출원/등록번호 |
17/526134 |
출원/등록일자 |
2021-11-15 |
출원/등록기관 |
한국과학기술원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 |
|
특허유형 |
특허 |
출원/등록구분 |
출원 |
| 기여율 |
50.0 % |
공개여부 |
공개 |
| 증빙자료 |
|
| 최초등록 |
관리자,
2024-04-11 PM 03시 16분
|
최종수정 |
관리자,
2024-10-24 PM 01시 44분
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지식재산권 상세정보
| 과제 |
반영구적으로 사용가능한 일체형의 화학적기계연마 패드 개발 |
| 지식재산권명 |
수직으로 정렬된 탄소나노튜브를 이용한 고정-연마재 패드 및 제작 방법 |
| 성과고유번호 |
PTR-2021-00212097192 |
| 성과발생연도 |
2021 |
| 국내외구분 |
국내 |
| 출원/등록번호 |
17/526134 |
| 출원/등록일자 |
2021-11-15 |
| 출원/등록기관 |
한국과학기술원 |
| 출원/등록기관 사업자등록번호 |
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| 특허유형 |
특허 |
| 출원/등록구분 |
출원 |
| 기여율 |
50.0 % |
| 공개여부 |
공개 |
| 증빙자료 |
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| 최초등록 |
관리자,
2024-04-11 PM 03시 16분
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| 최종수정 |
관리자,
2024-10-24 PM 01시 44분
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