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오염 입자 포집부와 이를 포함하는 극자외선 노광 장치
출원일

2021-01-04

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
오염 입자 차단부와 이를 포함하는 극자외선 노광 장치
출원일

2021-01-04

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
플라즈마 이온 밀도 측정 장치와 이를 이용한 플라즈마 진단 장치
출원일

2021-02-19

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
헬리콘 플라즈마 빔 극자외선 발생 장치
출원일

2021-03-24

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
플라즈마 진단기능을 갖는 정전척
출원일

2021-07-06

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
평면형 플라즈마 진단 장치가 매립된 플라즈마 공정 장치
출원일

2021-10-16

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
가스센서를 이용한 실시간 가스 종류 판별장치 및 방법
출원일

2021-03-19

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
화재 안전 모니터링 시스템
출원일

2021-11-29

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
신규한 만능성 세포 및 이의 제조 방법
출원일

2021-06-02

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원