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DEVICE FOR MEASURING PLASMA ION DENSITY AND APPARATUS FOR DIAGNOSING PLASMA USING THE SAME
출원일

2021-12-30

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국외

출원
오염 입자 포집부와 이를 포함하는 극자외선 노광 장치
출원일

2021-04-05

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
플라즈마 이온 밀도 측정 장치와 이를 이용한 플라즈마 진단 장치
출원일

2021-01-04

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
헬리콘 플라즈마 빔 극자외선 발생 장치
출원일

2021-02-19

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
플라즈마 진단기능 및 유전체 두께 측정기능을 갖는 센서, 이를 구비하는 공정장치 및 공정시스템
출원일

2021-03-24

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
오염 입자 차단부와 이를 포함하는 극자외선 노광 장치
출원일

2021-07-23

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
플라즈마 진단기능을 갖는 정전척
출원일

2021-01-04

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국내

출원
반도체 양자점의 생성과 크기 제어 방법 및 시스템
출원일

2021-07-06

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국외

출원
DEVICE FOR MEASURING PLASMA ION DENSITY AND APPARATUS FOR DIAGNOSING PLASMA USING THE SAME
출원일

2021-09-11

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국외

출원
DEVICE FOR MEASURING PLASMA ION DENSITY AND APPARATUS FOR DIAGNOSING PLASMA USING THE SAME
출원일

2021-04-07

최초등록일

2024-04-11

지역유형

국외

출원