차세대 반도체 진공 소부장 기초성능평가 플랫폼 구축(국가직접지원)
R&I 사업 정보
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사업명
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차세대 반도체 진공 소부장 기초성능평가 플랫폼 구축(국가직접지원) |
부서명
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반도체바이오산업과 |
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기능
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과학기술 |
전략산업
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나노반도체 |
회계연도
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2024 |
R&I 유형
|
기반구축 |
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국비
|
0 |
시도비
|
1,000,000,000 |
시군구비
|
0 |
기타
|
0 |
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지출액
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1,000,000,000 |
집행잔액
|
0 |
합계
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1,000,000,000 |
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시행주체
|
한국표준과학연구원 |
총 사업기간
|
2023-04-01 ~ 2027-12-31 |
당해연도 사업기간
|
2025-01-01 ~ 2025-12-31 |
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사업목적
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차세대 반도체 첨단소자 제조공정용 진공 소재, 부품, 장비 시제품의 성능검증을 위한 새로운 기초성능평가 플랫폼 구축 |
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사업내용
|
차세대 반도체 제조공정용 진공 소재, 부품, 장비 개발제품에 대한 성능 및 신뢰성 검증을 위한 장비 구축 및 공동활용 지원 |
R&I 사업 정보
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사업명
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차세대 반도체 진공 소부장 기초성능평가 플랫폼 구축(국가직접지원) |
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부서명
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반도체바이오산업과 |
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기능
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과학기술 |
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전략산업
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나노반도체 |
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회계연도
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2024 |
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R&I 유형
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기반구축 |
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국비
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0 |
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시도비
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1,000,000,000 |
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시군구비
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0 |
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기타
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0 |
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지출액
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1,000,000,000 |
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집행잔액
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0 |
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합계
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1,000,000,000 |
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시행주체
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한국표준과학연구원 |
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총 사업기간
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2023-04-01 ~ 2027-12-31 |
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당해연도 사업기간
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2025-01-01 ~ 2025-12-31 |
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사업목적
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차세대 반도체 첨단소자 제조공정용 진공 소재, 부품, 장비 시제품의 성능검증을 위한 새로운 기초성능평가 플랫폼 구축 |
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사업내용
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차세대 반도체 제조공정용 진공 소재, 부품, 장비 개발제품에 대한 성능 및 신뢰성 검증을 위한 장비 구축 및 공동활용 지원 |