고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축(국가직접지원)
R&I 사업 정보
|
사업명
|
고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축(국가직접지원) |
부서명
|
반도체바이오산업과 |
|
기능
|
과학기술 |
전략산업
|
나노반도체 |
회계연도
|
2025 |
R&I 유형
|
기반구축 |
|
국비
|
0 |
시도비
|
550,000,000 |
시군구비
|
0 |
기타
|
0 |
|
지출액
|
550,000,000 |
집행잔액
|
0 |
합계
|
550,000,000 |
|
시행주체
|
한국표준과학연구원 |
총 사업기간
|
2024-04-01 ~ 2028-12-31 |
당해연도 사업기간
|
2026-01-01 ~ 2026-12-31 |
|
사업목적
|
EUV 산업의 국내 경쟁력 성장 및 첨단반도체 핵심기술 초격차 확보를 위한 EUV 소재·부품·장비 기초성능평가 기반 구축 |
|
사업내용
|
EUV 검사기 장비 기술 및 인프라를 구축하여 EUV 소재·부품·장비 개발품에 대한 성능 및 신뢰성 검증, 실증평가 지원 등 |
R&I 사업 정보
|
사업명
|
고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 인프라 구축(국가직접지원) |
|
부서명
|
반도체바이오산업과 |
|
기능
|
과학기술 |
|
전략산업
|
나노반도체 |
|
회계연도
|
2025 |
|
R&I 유형
|
기반구축 |
|
국비
|
0 |
|
시도비
|
550,000,000 |
|
시군구비
|
0 |
|
기타
|
0 |
|
지출액
|
550,000,000 |
|
집행잔액
|
0 |
|
합계
|
550,000,000 |
|
시행주체
|
한국표준과학연구원 |
|
총 사업기간
|
2024-04-01 ~ 2028-12-31 |
|
당해연도 사업기간
|
2026-01-01 ~ 2026-12-31 |
|
사업목적
|
EUV 산업의 국내 경쟁력 성장 및 첨단반도체 핵심기술 초격차 확보를 위한 EUV 소재·부품·장비 기초성능평가 기반 구축 |
|
사업내용
|
EUV 검사기 장비 기술 및 인프라를 구축하여 EUV 소재·부품·장비 개발품에 대한 성능 및 신뢰성 검증, 실증평가 지원 등 |