| 과제고유번호 | 1711125566 | 사업유형 | |
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| 과제명 | KTSE Program (KIMM 중소기업 기술지원 사업) | ||
| 과제수행기관 | 한국기계연구원 | 당해연도 사업기간 | 2020-01-01 ~ 2020-12-31 |
| 성과연도 | 2020 | 최초기술실시 계약연도 | |||
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| 기술실시 계약명 | 반도체 웨이퍼상 Polymer spin coating 조건 및 Baking 최적화 | ||||
| 기술실시 대상국가 | 대한민국 | 기술실시 대상 기관명 | 사업자등록번호 | ||
| 연구개발성과 소유권기관유형 | 실행방법유형 | 제3자 실시 | |||
| 정부납부기술료여부 | 납부방법유형 | 정액(출연정률) | 당해 연도 징수액(원) | 2,750,000 원 | |
| 기술실시내용 | |||||