반도체 웨이퍼상 Polymer spin coating 조건 및 Baking 최적화
기술료 상세정보
| 과제 |
KTSE Program (KIMM 중소기업 기술지원 사업) |
| 기술실시 계약명 |
반도체 웨이퍼상 Polymer spin coating 조건 및 Baking 최적화 |
| 성과고유번호 |
TTR-2020-00511616982 |
성과발생연도 |
2020 |
계약연도 |
2020 |
| 기술실시 대상국가 |
대한민국 |
기술실시 대상기관 |
|
기술실시 기관유형 |
비영리법인(대학/출연연) |
| 정부납부기술료 납부여부 |
미납부 |
납부방식 |
정액(출연정률) |
당해연도 기술료(원) |
2,750,000 원 |
| 증빙자료 |
|
| 최초등록 |
관리자,
2024-04-11 PM 02시 06분
|
최종수정 |
관리자,
2024-07-24 PM 06시 39분
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기술료 상세정보
| 과제 |
KTSE Program (KIMM 중소기업 기술지원 사업) |
| 기술실시 계약명 |
반도체 웨이퍼상 Polymer spin coating 조건 및 Baking 최적화 |
| 성과고유번호 |
TTR-2020-00511616982 |
| 성과발생연도 |
2020 |
| 계약연도 |
2020 |
| 기술실시 대상국가 |
대한민국 |
| 기술실시 대상기관 |
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| 기술실시 기관유형 |
비영리법인(대학/출연연) |
| 정부납부기술료 납부여부 |
미납부 |
| 납부방식 |
정액(출연정률) |
| 당해연도 기술료(원) |
2,750,000 원 |
| 증빙자료 |
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| 최초등록 |
관리자,
2024-04-11 PM 02시 06분
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| 최종수정 |
관리자,
2024-07-24 PM 06시 39분
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