과제 상세정보
목록공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발
작성자
관리자
조회수
48
등록일
2024-05-21
사업 정보
| 내역사업 | 지역주력산업육성 |
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과제 기본정보
| 과제명 | 공정 웨이퍼 상의 복합 이온성 오염에 대한 ppb급 고감도 신속 인라인 검사 시스템 개발 | ||||
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| 과제고유번호 | 1425158003 | ||||
| 부처명 | 중소벤처기업부 | ||||
| 시행계획 내 사업명 | |||||
| 시행계획 내 사업유형 | 예산출처지역 | 대전광역시 | 사업수행지역 | 대전광역시 | |
| 계속/신규 과제구분 | 신규과제 | ||||
| 과제수행연도 | 2021 | 총연구기간 | 2020-05-01 ~ 2021-12-31 | 당해연도 연구기간 | 2021-01-01 ~ 2021-12-31 |
요약 정보
| 연구목표 | ○ 반도체 제조 공정용 웨이퍼 표면위의 복합 이온성 오염물질 고감도 신속 인라인 시스템 개발 ○ 세계 최초 인라인 시스템 국산화 개발과 시장 선점을 통한 매출 창출 반도체 패턴의 미세화 고집적화됨에 따라 웨이퍼 표면위 오염물질들에 대한 중요성이 부각되고 있으며, 이를 관리하기 위해서는 신속하고 신뢰성 있는 측정 검사가 요구됨. 이에 따라 실시간에 ... | ||
|---|---|---|---|
| 연구내용 | ○ 웨이퍼 표면위 오염물질 샘플링 기술 완성 . 샘플링/클리닝/건조가 일체화된 올인원 샘플링 모듈 개발 . 로봇, 모터, 센서들을 이용한 올인원 샘플링 자동화 스테이지 개발 . 용액 분사 노즐, 샘플링 용액 회수 바울 설계 및 최적화를 통한 샘플링 성능 확보 . 포집 효율, 클리닝 효율 (메모리), 건조 최적화 . 베어 웨이퍼... | ||
| 기대효과 | ○ 기술적 기대 효과 . 웨이퍼상 이온 오염물질 인라인 모니터링 시스템 세계 최초 개발 . 올인원 샘플링 기술 및 자동화 기술에 대한 특허 선점 (선행 특허 2건과 과제를 통한 특허 2건이상) . 현행 기술 대비 샘플링 시간 10배 이상의 신속성 향상, 경쟁력 확보 (현행 30분 ==> 본개발 기술 3분) . 비파괴 분석에 따른 다... | ||
| 키워드 | 스핀샘플링,웨이퍼,이온 오염,이온크로마토그래피,자동화 | ||
위탁/공동여부 정보
| 단독연구 | 기업 | 대학 | 국공립(연)/출연(연) | 외국연구기관 | 기타 |
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기술 정보
| 연구개발단계 | 개발연구 | 산업기술분류 | |
|---|---|---|---|
| 미래유망신기술(6T) | 기타 | 기술수명주기 | |
| 연구수행주체 | 산 | 과학기술표준분류 | 자연 > 화학 > 분석화학 > 분리분석화학 |
| 주력산업분류 | 적용분야 | 기타 산업 | |
| 중점과학기술분류 | 과제유형 |
과제수행기관(업) 정보
| 과제수행기관(업) 정보 | 과제수행기관(업)명 | (주)위드텍 | 사업자등록번호 | |
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| 연구책임자 | 소속기관명 | (주)위드텍 | 사업자등록번호 | |
| 최종학위 | 석사 | 최종학력전공 | 공학 |
사업비
| 국비 | 200,000,000 | 지방비(현금+현물) | 0 |
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| 비고 | |||