| 연구목표 |
- 표준물질A군[150 mm 직경의 실리콘 기판 위에 성장된 (10, 20, 40, 90, 120, 200) nm 질화규소 박막층 두께] 시편 생산계획 수립- 후보물질A군 시편 150개 제조 - 후보물질A군에 대한 균질성 평가 - 후보물질A군에 대한 안정성 평가- 질화규소 박막층 두께와 복소굴절률에 대한 적합한 분석 모델 및 특성화 방법 개발- 표준물질A... |
| 연구내용 |
* 표준물질A군 생산계획 수립- 기술책임자는 표준물질 생산을 위한 연간 연구개발 계획을 수립하여 본부(소)총괄책임자의 승인을 받음- 표준물질생산책임자는 전항에서 수립된 연구개발 계획을 기반으로 표준물질의 품질에 영향을 미치는 공정을 확인하고 표준물질 생산계획을 작성하여 기술책임자에게 보고함* 후보물질A군에 대한 안정성 평가- 보관 조건에서의 안정성을 실험을... |
| 기대효과 |
* 정확도가 높은 1차 CRM은 다수의 첨단 측정장비들을 사용하고 있는 첨단소자 제조산업체에서 장비관리의 기준점이 되어 관리의 정확성과 효율성을 모두 갖출 수 있도록 도움* 국가측정표준체계 및 CRM 보급체계 확립은 관련된 첨단측정장비의 국내산업 육성과 발전에 도움이 되고 더 나아가서 선진국형 일자리 창출에도 기여함 * SE 측정 장비의 세계 시장의 경우 ... |
| 키워드 |
질화규소박막,박막두께,측정표준,표준물질,분광타원계측기 |