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우수기업연구소 육성사업(ATC+)
반도체 FOPLP package 공정용 초정밀 3D 형상 측정 장비 개발2020
주식회사나노시스템
2020-05-01 ~ 2020-12-31
우수기업연구소 육성사업(ATC+)
반도체 FOPLP package 공정용 초정밀 3D 형상 측정 장비 개발2021
(주)나노시스템
2021-01-01 ~ 2021-12-31
우수기업연구소 육성사업(ATC+)
반도체 FOPLP package 공정용 초정밀 3D 형상 측정 장비 개발2023
(주)나노시스템
2023-01-01 ~ 2023-12-31
우수기업연구소 육성사업(ATC+)
반도체 FOPLP package 공정용 초정밀 3D 형상 측정 장비 개발2022
(주)나노시스템
2022-01-01 ~ 2022-12-31
(사업계획서) 스마트센서 선도프로젝트 기술개발사업 시행계획 공고
반도체 공정 모니터링용 ppt급 초고감도 가스 분광분석 기술 개발2022
우성이엔디(주)
2022-01-01 ~ 2022-06-24
(사업계획서) 스마트센서 선도프로젝트 기술개발사업 시행계획 공고
반도체 공정 모니터링용 ppt급 초고감도 가스 분광분석 기술 개발2021
우성이엔디(주)
2021-01-01 ~ 2021-06-24
대전연구산업진흥단지육성사업
반도체 공정 유해 가스 실시간 정밀(ppm급) 측정용 퓨리에 변환 적외선 분광기 국산화 개발2023
에스팩(주)
2023-07-01 ~ 2023-12-31
2022년도 창업성장기술개발사업 소재·부품·장비 스타트업100 연계과제 시행계획 공고
반도체 공정용 세라믹의 정전기 방지를 위한 표면처리 장치 시제품 개발2022
(주)라드피온
2022-07-01 ~ 2022-12-31