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중견후속연구(연평균연구비 2억원~4억원 이내)
반도체 양자점과 금속 표면 플라즈몬 제어를 통한 양자 포토닉스 연구2022
한국과학기술원
2022-03-01 ~ 2023-02-28
중견후속연구(연평균연구비 2억원~4억원 이내)
반도체 양자점과 금속 표면 플라즈몬 제어를 통한 양자 포토닉스 연구2020
한국과학기술원
2020-03-01 ~ 2021-02-28
중견후속연구(연평균연구비 2억원~4억원 이내)
반도체 양자점과 금속 표면 플라즈몬 제어를 통한 양자 포토닉스 연구2021
한국과학기술원
2021-03-01 ~ 2022-02-28
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
반도체 요소부품 정전기 방지 공정개발 및 준 양산장치 제작2021
(주)라드피온
2021-01-01 ~ 2021-11-05
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
반도체 요소부품 정전기 방지 공정개발 및 준 양산장치 제작2020
(주)라드피온
2020-01-01 ~ 2020-11-05
소재부품기술기반혁신
반도체 웨이퍼 이송장비용 2D 라이다 센서 성능개선 및 양산기술 개발2020
한국기계연구원
2020-11-01 ~ 2021-09-30
대전연구산업진흥단지육성사업
반도체 웨이퍼 컷팅 마이크로 블레이드의 비접촉식 두께 자동측정 장비2023
아이디티(주)
2023-07-01 ~ 2024-06-30
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
반도체 인라인 wafer 이온(무기)성 오염 측정 설비 개발2021
엔비스아나(주)
2021-01-01 ~ 2021-11-05
(9월) 팁스(TIPS) 창업기업 지원계획 통합공고
반도체 제조공정 부품 제전을 위한 산업용 필라멘트리스 이온원 개발2021
(주)라드피온
2021-10-01 ~ 2022-09-30