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2020년도 구매조건부신제품개발사업 구매연계형 과제 지정공모(2차) 시행계획 공고
반도체 멤브레인용 Stainless Steel Pre-alloyed Powder 개발2020
(주)나노코리아
2020-10-20 ~ 2021-10-19
2021년도 창업성장기술개발사업 전략형(소재·부품·장비) 제2차 시행계획 공고
반도체 미세공정용 Wet Ceria 나노입자 양산용 합성장비(pilot) 및 분산, 정제기술 개발2022
(주)엠피에스피
2022-01-01 ~ 2022-10-31
2021년도 창업성장기술개발사업 전략형(소재·부품·장비) 제2차 시행계획 공고
반도체 미세공정용 Wet Ceria 나노입자 양산용 합성장비(pilot) 및 분산, 정제기술 개발2021
주식회사 엠피에스피
2021-11-01 ~ 2022-10-31
반도체설계검증인프라활성화
반도체 설계인력양성을 위한 6인치 Si CMOS 설계검증 플랫폼 개발 및 MPW 지원2023
한국전자통신연구원
2023-04-01 ~ 2023-12-31
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
반도체 세정 공정용 300 mm 급 불화물계 세라믹 소재 개발2020
(주)단단
2020-01-01 ~ 2020-11-05
2019년도 중소기업 기술혁신개발사업(소재·부품·장비분야 추경사업)
반도체 세정 공정용 300 mm 급 불화물계 세라믹 소재 개발2021
(주)단단
2021-01-01 ~ 2021-11-05
탄소중립산업핵심기술개발(R&D)
반도체 식각공정 온실가스의 공정모니터링 및 분석기술 개발2023
(재)한국표준과학연구원
2023-07-01 ~ 2023-12-31